掃描探針顯微鏡探針廠家認為一般的化學分析方法只能得到分析樣品的平均成分，而在電子顯微鏡上可以實現與微區形貌相對應的微區分析，因此對于研究材料的微觀結構和元素分布是有用的分析方法。電子探針的作用主要是分析微區的成分。它是一種基于電子光學和X射線光譜學原理開發的高 效分析儀器。

掃描探針顯微鏡探針廠家認為電子探針儀器的筒部結構與掃描電鏡基本相同，只是探測器部分采用了X射線光譜儀，專門用于探測X射線的特征波長或能量，從而分析微區的化學成分。因此，除了專用的電子探針儀器外，還有相當數量的電子探針儀器作為附件安裝在掃描電子顯微鏡或透射電子顯微鏡的鏡片上，以滿足微區微觀結構、晶體結構、化學成分三位一體分析的需要。

掃描探針顯微鏡探針廠家認為電子探針的筒體和樣品室與掃描電鏡沒有本質區別。因此，常常將掃描電鏡和電子探針結合起來，使一臺儀器同時具有形貌分析和成分分析的功能。電子探針的信號檢測系統是X射線光譜儀，用于測量特征波長的光譜儀稱為波長色散光譜儀(WDS)或光譜儀。用于測量X射線特征能量的譜儀稱為能量色散譜儀(EDS)或能譜儀。

掃描探針顯微鏡探針廠家認為在電子探針中，X射線是從樣品表面以下一微米甚至納米的作用體積中激發出來的。如果該體積包含許多元素，則可以激發每個相應元素的特征波長X射線。特征X射線的波長(或頻率)不隨入射電子的能量(加速電壓)而變化，而是由構成該物質的元素種類(原子序數)決定。

掃描探針顯微鏡探針廠家認為不同元素的特征X射線波長差別很大。為了使可分析元素盡可能地覆蓋同一周期表中的所有元素，需要配備幾個面間距不同的光譜晶體。在光譜儀中，X射線信號來自樣品表面的微小體積，可以看作是點光源。點光源發出的X射線是發散的，只有很小一部分能到達分光晶體表面，所以信號很弱。

掃描探針顯微鏡探針廠家認為STM在早期被認為是一種原子分辨率成像技術，但它對廣泛的基礎科學產生了深遠的影響。在材料科學中，它為已知材料的納米特性提供了新的見解，也可以研究新的納米材料。在化學中，STM使得人們能夠理解催化劑的表面粗糙度和電子特性是如何控制其性能的。雖然許多生物樣品是不導電的，但已經表明它們可以涂上薄金屬膜并沉積在導電基底上或在潮濕條件下掃描，這樣STM就可以用來研究它們。