半導體解決方案

JV QCVelox-E 化合物半導體的X射線量測方案
  • 產品品牌: 布魯克 Bruker
  • 產品產地: 德國
  • 應用領域: 專為LED和外延層晶圓分析設計的高分辨率X射線衍射系統
  • 產品簡介: QCVelox-E是JV-QC儀器系列中最新最先進的高分辨率 X 射線衍射儀(HRXRD)。它是一款專為化合物半導體行業設計的高分辨率 X 射線衍射質量控制工具,適用于表征所有常見的半導體襯底,包括砷化鎵(GaAs)、磷化銦(InP)、氮化鎵(GaN)、藍寶石、碳化硅(SiC)、硅(Si)等。 QCVelox-E 的測量結果通過 JV RADS 分析軟件進行分析,該軟件是市場領先的 HRXRD 數據模擬、分析和擬合軟件(已獲專利)。它為客戶提供全面且獨特的過程控制解決方案,能夠快速、準確地計算工藝參數,并即時向生產環節反饋,從而提高產量和盈利能力。

專為LED和外延層晶圓分析設計的高分辨率X射線衍射系統


  • QCVelox-E是JV-QC儀器系列中最新最先進的高分辨率 X 射線衍射儀(HRXRD)。它是一款專為化合物半導體行業設計的高分辨率 X 射線衍射質量控制工具,適用于表征所有常見的半導體襯底,包括砷化鎵(GaAs)、磷化銦(InP)、氮化鎵(GaN)、藍寶石、碳化硅(SiC)、硅(Si)等。

  • QCVelox-E 的測量結果通過 JV RADS 分析軟件進行分析,該軟件是市場領先的 HRXRD 數據模擬、分析和擬合軟件(已獲專利)。它為客戶提供全面且獨特的過程控制解決方案,能夠快速、準確地計算工藝參數,并即時向生產環節反饋,從而提高產量和盈利能力。