半導體解決方案
InSight WLI白光干涉量測方案
- 產品品牌: 布魯克 Bruker
- 產品產地: 美國
- 應用領域: 常用于半導體制造，監測晶圓表面形貌、測量光刻膠厚度；在光學元件制造中，檢測表面粗糙度與面形偏差；助力材料科學研究，探究材料微觀結構與性能關聯；也適用于精密機械加工領域，把控零件表面形貌與尺寸精度 。
- 產品簡介: 該方案集成布魯克先進技術，通過白光干涉原理實現高精度測量。具備一鍵式高級尋找表面功能，搭配自動聚焦與自動照明，大幅提升測量效率。可對各類樣品表面進行非接觸式檢測，獲取精確的三維形貌數據，垂直分辨率達亞納米級別，能兼顧微觀表面粗糙度與宏觀幾何尺寸測量 。
全自動的 InSight WLI 系統結合了卓越的光學表面測量功能與先進的晶圓處理系統，為用戶提供前所未有的測量體驗。該系統專為滿足最為嚴苛的研發（R&D）、質量保證及工藝質量控制的需求而設計，搭載了專利性的探頭傾斜設計（tip/tilt head）、獨特的自校準激光參考（ self-calibrating laser reference）、集成圖案識別功能（pattern recognition）以及其他眾多布魯克獨有的干涉測量技術。相比于其他量測系統， InSight WLI在非接觸精度、高通量能力和操作便捷性方面遙遙領先，它能夠廣泛應用于各種在線生產量測和成像任務中。