半導體解決方案
InSight AFP全自動原子力量測方案
- 產品品牌: 布魯克 Bruker
- 產品產地: 美國
- 應用領域: 半導體制造、 材料研究、 微納加工
- 產品簡介: 布魯克 InSight AFP 是先進的全自動原子力量測方案。融合現代尖端掃描儀、穩定電容式壓力計與精準空氣軸承定位系統，能在晶圓活動區無損測量。具備高分辨率、快速成型及 3D 模具映射能力，提供 NIST 可追蹤參考計量，年測量穩定性出色。擁有 TrueSense? 技術與專有 CDMode，實現蝕刻深度等自動化監控與側壁特征表征 。
先進制程控制和開發所追求的長期穩定性和生產率，InSight AFP是行業領先的超高性能CMP分析和蝕刻深度量測系統，主要用于先進技術節點。InSight AFP配備了穩定的電容式掃描頭和精確的空氣軸承定位系統，使其可以在芯片的任意有效區域輕松進行非破壞性測量。
- 卓越的分辨率與成型速度：屬于第五代AFP，具備業界頂尖的分辨率以及快速的成型速度
- 高度穩定性：擁有0.3納米的長期穩定性，可提供NIST可溯源的參考計量
- 高效生產能力：在聯應用程序方面具有極高的生產效率
- 快速仿形與高分辨率3D特征呈現：TrueSense®技術賦予其原子力分析器經實踐驗證的長掃描能力
- 獨特的測量模式與成本優勢：結合了原子力顯微鏡的創新成果，包含Bruker專有的CDMode