半導體解決方案
InSight 300全自動原子力量測方案
- 產品品牌: 布魯克 Bruker
- 產品產地: 美國
- 應用領域: 化學、生物化學、材料科學、藥物研發、食品檢測、石油化工。
- 產品簡介: 布魯克 InSight 300 是一款專為半導體制造環境打造的自動化原子力顯微鏡。其掃描平整度＜±1nm，本底噪聲＜35pm ，滿足先進化學機械拋光與蝕刻應用的嚴苛要求。該設備具備出色的輪廓測量能力，在混合鍵合等前沿應用中表現卓越。它還設有專利操作模式，可優化側壁粗糙度測量等工作，以高精度、高穩定性及易用性，保障半導體量產中的可靠在線計量 。
InSight 300 是專為晶圓廠設計的自動化原子力顯微鏡（AAFM），以其卓越的精確度、高效處理能力和可靠性，成為大規模半導體生產的理想選擇。憑借<±1 nm 的掃描平整度（Scanner flatness）及行業領先的<35 pm底噪聲，此系統能夠完美應對先進制程中化學機械拋光（CMP）和蝕刻工藝的需求，涵蓋從粗糙度分析到裸片全自動缺陷復檢（Automated defect review）的全過程。此外，其強大的輪廓剖析能力（Profiling）不僅超越了毫米級測量范圍，還能實現邊緣倒角（Bevel-edge）的量測，為前沿的混合鍵合技術做鋪墊。InSight 300還配備了側壁粗糙度測量（Sidewall Roughness），和側壁形貌分析等布魯克專有模式。
- 高精度測量：能滿足先進化學機械拋光（CMP）和蝕刻應用的嚴格要求，可實現納米級精度測量。
- 多種專有測量模式：具備布魯克專有的操作模式，確保測量結果的可靠性和一致性。
- 高效自動化：擁有自動針尖管理功能，提高操作效率減少人為誤差。
- 通用性強：配備多功能光學系統，可滿足不同測量需求。
- 操作簡便：現代圖形用戶界面（GUI）設計友好，操作方便。
- 專業探針支持：布魯克擁有探針納米制造設施，可為 InSight 300 提供專用探針