探針式輪廓儀/臺階儀
Dektak Pro探針式輪廓儀/臺階儀
一款高精度表面形貌測量儀器，通過接觸式探針技術實現納米級垂直分辨率的臺階高度、粗糙度和三維形貌分析，廣泛應用于半導體、光學鍍膜及材料科學研究領域。
- 產品品牌: Bruker公司
- 產品產地: 馬來西亞
- 應用領域: 半導體與微電子、光學與顯示技術、材料科學、MEMS/NEMS（微/納機電系統）、生物醫學與仿生材料、質量控制與失效分析
- 產品簡介: Dektak Pro采用接觸式探針測量技術，通過金剛石或藍寶石探針在樣品表面掃描，記錄探針的垂直位移變化，從而生成高分辨率的表面輪廓數據（分辨率可達亞納米級）。
最大限度地提高可重復性和準確性
Dektak Pro 提供準確、精確的數據，具有最高的分辨率、最低的本底噪聲和任何市售測針輪廓儀中最容易的尖端更換。最先進的測量和分析技術最大限度地提高了可重復性和準確性，使單納米臺階高度測量和優于 4 ? 的可重復性成為可能。
提高吞吐量
Dektak Pro 加速了測量和分析過程的每一步。直接驅動掃描臺技術縮短了掃描之間的時間，Vision64 軟件中的 64 位并行處理實現了快速數據處理。®
Dektak Pro 中額外的速度和易用性技術進步：
- 一種新算法使光學實時圖像中幾乎整個視場都聚焦在一起，從而更容易定位感興趣的特征。
- 新的臺階高度算法可自動執行分析程序，提高一致性，并最大限度地減少臺階高度計算中的潛在用戶錯誤。
提高吞吐量
Dektak Pro 加速了測量和分析過程的每一步。直接驅動掃描臺技術縮短了掃描之間的時間，Vision64 軟件中的 64 位并行處理實現了快速數據處理。®
Dektak Pro 中額外的速度和易用性技術進步：
- 一種新算法使光學實時圖像中幾乎整個視場都聚焦在一起，從而更容易定位感興趣的特征。
- 新的臺階高度算法可自動執行分析程序，提高一致性，并最大限度地減少臺階高度計算中的潛在用戶錯誤。
提供終極多功能性和易用性
適用于各種應用
Dektak Pro 解決了許多工業和研究應用中的研發、工藝開發和 QA/QC 當前和未來的需求，例如：
- 微電子學
- 厚膜涂層
- 生物材料
在動態測量場景中準確且響應迅速
使用 Dektak Pro，一個測量頭可覆蓋 5 nm–1 mm 的步高和 0.03–15 mg 的負載（使用 N-Lite+ 選項），無需重新校準。低慣量傳感器 （LIS 3） 可快速適應表面地形的突然變化，并在動態測量場景中保持準確性和響應能力
快速簡便的觸控筆更換
Dektak Pro 獨特的自對準測針組件有助于快速輕松地更換測針，同時消除過程中的任何潛在事故。布魯克提供最廣泛的測針尺寸，幾乎可以滿足任何應用要求。
Dektak Pro 具有最快、最簡單的吸頭更換功能，使吸頭切換變得簡單，以滿足最廣泛的應用需求。
選擇最適合您的應用程序和預算的配置
Dektak Pro 有幾種標準配置，具有不同的載物臺尺寸 — 高達 200 mm 的晶圓全樣品通道 — 以及自動化載物臺選項，以滿足您的獨特需求和預算。
- Dektak Pro E 或 -S： 手動 100 mm XY 載物臺，帶或不帶手動 θ 旋轉
- Dektak Pro A： 自動 150 mm XY 載物臺，帶自動 360° θ
- Dektak Pro A200 （德克特 Pro A200）： 自動編碼的 200 mm XY 載物臺，帶有精細編碼的自動 360° θ
