半導(dǎo)體解決方案

7300LSI 硅基半導(dǎo)體的X射線量測(cè)方案
  • 產(chǎn)品品牌: 布魯克 Bruker
  • 產(chǎn)品產(chǎn)地: 德國
  • 應(yīng)用領(lǐng)域: 先進(jìn)邏輯芯片外延膜特性分析；DRAM 和 NAND 中高 k 材料的厚度、密度及結(jié)晶度測(cè)量；監(jiān)測(cè)硅基半導(dǎo)體制造各環(huán)節(jié)，保障產(chǎn)品質(zhì)量與性能 。
  • 產(chǎn)品簡(jiǎn)介: 布魯克 7300LSI 是針對(duì)硅基半導(dǎo)體的 X 射線量測(cè)方案。它能在晶圓廠內(nèi)，實(shí)現(xiàn)研發(fā)與生產(chǎn)過程中半導(dǎo)體薄膜的監(jiān)測(cè)。集多種模式于一體，如 X 射線反射、高分辨率 XRD 等，可對(duì)晶圓進(jìn)行全面分析。具備自動(dòng)化功能，從測(cè)量配置切換、校準(zhǔn)，到操作、分析與報(bào)告皆能自動(dòng)完成，能處理 300、200 及 150mm 晶圓。

布魯克7300LSI 全自動(dòng)X射線衍射儀是半導(dǎo)體晶圓廠內(nèi)的研發(fā)工作（in-fab R&D ）和整片晶圓上的薄膜進(jìn)行過程監(jiān)控的理想選擇。它特別適用于在先進(jìn)邏輯電路、存儲(chǔ)技術(shù)及GaN/Si芯片制造中進(jìn)行材料表征?；?/span>7300L的優(yōu)秀性能，7300LSI集成了X射線反射率（XRR）、高分辨XRD（HRXRD）、掠入射XRD（GIXRD）和廣角XRD（WAXRD）等多功能于一身，可用于無圖晶圓的應(yīng)變測(cè)量、薄膜表征以及物相分析。